NHAを用いた近赤外光による単一薄膜の位置計測シミュレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: PS5-2

グループ名: 【C】平成23年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/07

タイトル(英語): Positional measurement simulation of single thin film by infrared radiation using non-harmonic analysis

著者名: 内田 哲矢(富山大学),曹 旭(santec),広林 茂樹(富山大学),吉澤 壽夫(富山大学),参沢匡将 (富山大学),鄭 昌鎬(santec),両澤 淳(santec),鈴木 卓也(santec)

著者名(英語): Tetsuya Uchida(University of Toyama),Xu Cao(SANTEC CORPORATION),Shigeki Hirobayashi(University of Toyama),Toshio Yoshizawa(University of Toyama),Tadanobu Misawa(University of Toyama),Changho Chong(SANTEC CORPORATION),Atsushi Morosawa(SANTEC CORPORATION),Takuya Suzuki(SANTEC CORPORATION)

キーワード: SS-OCT|SS-OCT

要約(日本語): 本実験では、SS-OCT(波長走査型光コヒーレンストモグラフィー)において、新しい信号処理技術であるNHA(non-harmonic analysis)による処理を提案し、その利点とDFT(離散フーリエ変換)による処理との比較を示す。両手法の比較はSS-OCTで用いられる近赤外光による単一薄膜の位置計測をシミュレートし、計算結果と真値との２乗誤差を比べることで行った。その結果、NHAによる処理ではDFTによる処理に比べ良好な計算精度を得た。

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