H∞フィルタによる空圧式除振装置の圧力推定の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT12021

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2012/06/29

タイトル(英語): Estimation of Pressure in Air Springs Attached to Pneumatic Vibration Isolators Using an H-Infinity Filter

著者名: 中村 幸紀(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Nakamura Yukinori(Tokyo University of Agriculture and Technology),Wakui Shinji(Tokyo University of Agriculture and Technology)

要約(日本語): 半導体の製造では空圧式除振装置が用いられる．同装置では，空気ばねの圧力をフィードバックすることで除振率を改善できる．しかし，半導体デバイスの微細化に伴い高分解能な圧力センサが必要である．さらに，多軸の除振装置では，複数のセンサを用いるためコスト面で望ましくない．そこで，本発表では，H∞フィルタを用いて，空気ばねの内圧を推定する．同フィルタのパラメータの効果等を数値例により評価する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,941 Kバイト