電子ビーム蒸着法によるセラミックス薄膜の作製と感湿特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS12-6

グループ名: 【C】平成24年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/05

タイトル(英語): Humidity Sensing Characteristics of Ceramics Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation Method

著者名: 佐々木 拓実(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),島田 和宏(関東学院大学),加藤 ひとし(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学)

著者名(英語): Takumi Sasaki(Kantogakuin University),minoru Otsu(Kantogakuin University),kazuhiro Shimada(Kantogakuin University),hitosi kato(Kantogakuin University),tomoyasu Hiramatsu(Kantogakuin University)

キーワード: 薄膜|湿度センサ|蒸着|セラミックス|Thin films|Humidity sensor|Evaporation|ceramics

要約(日本語): 現在、半導体製造や食品管理などの厳正な環境を要する業界では、高性能で且つ小型で安価な湿度センサが要求されている。そこで我が研究室では電子ビーム蒸着法によってセラミックスである酸化ジルコニウムと酸化イットリウムの混合材料を薄膜化することによって湿度センサへの応用を試みている。

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