（招待講演）ＥＭデバイスの４０年、そしてこれから

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC1-1

グループ名: 【C】平成24年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/05

タイトル(英語): 40 Years of Electromechanical Devices and Beyond

著者名: 尾上 守夫(東京大学)

著者名(英語): Morio Onoe(University of Tokyo)

キーワード: ＥＭデバイス|圧電部品|水晶|SAW|ガイド波MEMS|EM device|piezoelectric device|quartz|SAW device|guided waveMEMS

要約(日本語): EM委員会は1943に発足し、組織や名称は変遷があったものの、実質的に今日まで活動が続いている。EMシンポジウムは1972に多重モードの総合研究の総括のために開催されたのが最初で、昨年40周年を迎えた。これもひとえに関係の方々のご努力によって、その時代時代の要請に応えたデバイスが創出されてきたからからに他ならない。その歴史を顧み、MEMSの登場によるで新しい発展を展望したい。

PDFファイルサイズ: 4,766 Kバイト