弾性表面波素子と力センサを組み合わせたひずみと温度の同時計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC1-3

グループ名: 【C】平成24年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/05

タイトル(英語): Simultaneous measurements of strain and temperature using SAW device and force sensor

著者名: 近藤 淳(静岡大学),元治 拓磨(静岡大学),成島 彰洋(静岡大学)

著者名(英語): Jun Kondoh(Shizuoka University),Takuma Genji(Shizuoka University),Akihiro Narushima(Shizuoka University)

キーワード: 弾性表面波|クラシカルセンサ|surface acoustic wave|clasical sensor

要約(日本語): 弾性表面波（SAW）素子の特長を生かした無給電ワイヤレスセンサに関する研究が活発に行われている．その多くは，SAW素子自身をセンサとして利用している．こところで，SAW素子上に設けられた反射器の反射特性は，反射器に接続したインピーダンスに依存する．このため，インピーダンスが変化するいわゆるクラシカルなセンサを反射器に接続することにより，SAWの変化としてインピーダンス変化を捉えることができる．そこで，本稿ではSAWの反射器に力センサを接続した構成を用いて，片持ばりのひずみ計測を行った結果について報告する．力センサのインピーダンス変化により，反射器により反射したSAWの振幅が変化した．また，SAW素子の温度を変化させた場合，振幅は一定で位相が変化する．すなわち，振幅と位相を測定することにより，温度とインピーダンス変化の同時測定が可能なだけでなく，インピーダンスセンサの温度補正も可能であることが分かった．

PDFファイルサイズ: 3,097 Kバイト