シリコンナノシステム集積化技術調査専門委員会活動報告

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC9-1

グループ名: 【C】平成24年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/05

タイトル(英語): Activity Report of the Committee of Silicon Nanosystem Integration Technologies

著者名: 猪川 洋(静岡大学)

著者名(英語): Hiroshi Inokawa(Shizuoka University)

キーワード: シリコン|集積回路|デバイス技術デバイス技術|silicon|integrated circuit|device technologies

要約(日本語): 平成２１年６月から３年間にわたる電気学会「シリコンナノデバイス集積化技術」調査専門委員会の活動状況を総括する。

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