SOI基板を利用した光検出器の新展開

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC9-6

グループ名: 【C】平成24年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/05

タイトル(英語): New Developments of SOI-Based Photodetectors

著者名: 猪川 洋(静岡大学),佐藤 弘明(静岡大学),杜 偉(静岡大学),小野 篤史(静岡大学)

著者名(英語): Hiroshi Inokawa(Shizuoka University),Hiroaki Satoh(Shizuoka University),Wei Du(Shizuoka University),Atsushi Ono(Shizuoka University)

キーワード: ＳＯＩ|光検出器|表面プラズモン|単一フォトン検出|SOI|photodetector|surface plasmon|single-photon detection

要約(日本語): 絶縁膜上のシリコン(SOI: silicon on insulator)を用いた新しいタイプの光検出器について紹介する。様々な波長・偏光フィルタ特性を作り込める表面プラズモンアンテナ付きフォトダイオードや、光で発生したキャリアを増倍無しに一つずつカウントする単一フォトン検出器などのユニークな光検出器がSOIの使用により実現した。

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