熱伝達率と圧力変化を考慮した空気ばねの温度変化抑制に対する一考察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT14028

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2014/06/21

タイトル(英語): A consideration for suppression of the temperature change in an air spring considering heat transfer coefficient and pressure change

著者名: 片山 翔太(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学)

著者名(英語): Shota Katayama(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori ]Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology)

要約(日本語): 半導体露光装置は，床振動の影響を受けないように，空圧式アクティブ除振装置により支えられる．この露光装置は熱を嫌うので，厳重な温度管理が施される．しかし，除振装置内の空気ばねは，高圧空気の吸排気によって温度変化する．この温度変化を抑制するために，熱伝達率と圧力変化に着目し，内部空気の撹拌と圧力操作という二つの手法を提案する．さらに，実際に各手法を用いて温度測定を行い，その結果を示す．

要約(英語): In order to control vibration, pneumatic anti-vibration apparatus is used for semiconductor exposure apparatus. Exposure apparatus is affected negatively from heat. However, the temperature of the air spring in pneumatic anti-vibration apparatus changes by pressure change. In this paper, we consider for suppression of the temperature change in air spring considering heat transfer coefficient and pressure change. Moreover, we show the measured results of the temperature change with proposed methods.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,706 Kバイト