むだ時間を考慮した二軸空圧式除振装置に対する姿勢制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS11-1

グループ名: 【C】平成26年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2014/09/03

タイトル(英語): Attitude Control of Pneumatic Anti-Vibration Apparatuses with Two Degrees-of-Freedom Considering Time Delays

著者名: 後藤 怜(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Satoru Goto(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

要約(日本語): 半導体デバイスの製造現場では，地震発生時に半導体露光装置の稼働を停止させる．その際，露光装置に用いられる空圧式除振装置では，空気を強制排出して除振台を着座させる．しかし，複数の空気ばねが用いられる多軸の空圧式除振装置では，各空気ばねに接続される配管長の差異が原因で，ばねごとにむだ時間は異なる．そのため，同装置の停止時に除振台の回転運動が生じ，同露光装置内の機械衝突を招く．本発表では，装置停止時における回転運動の抑制について検討する．二軸空圧式除振装置に対して，Smith補償器を実装し，むだ時間補償を行う．また，除振台の着座時に与える目標値信号を整形することで，回転運動の抑制を図る．本手法の有効性を数値シミュレーションと実機実験により示す．

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