片側電磁石駆動の1軸能動型磁気軸受が搭載されたターボ分子ポンプにおける水平設置での安定浮上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT15032

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2015/03/27

タイトル(英語): Stabilizing the levitation of the rotor in the case of the horizontal setting for one-axis active magnetic bearing using single side electromagnetic drive

著者名: 兼松 春奈(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学)

著者名(英語): Haruna Kanematsu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 磁気軸受|片側電磁石駆動|ターボ分子ポンプ|水平設置|姿勢問題|Magnetic bearing|Single side electromagnetic drive|Turbo molecular pump|Horizontal installing|Attitude problem

要約(日本語): 低価格化と短軸化を目的とする片側電磁石駆動の1軸能動型磁気軸受を搭載したターボ分子ポンプにおいて，安定的なロータ浮上の制御法を確立した．また，産業応用を見据え，上下逆さの設置に対応させた．本研究では，水平設置への対応を試みる．水平状態では，軸方向の制御だけでなく半径方向の支持剛性の考察が必要である．そこで，電磁石のドライバの調整と永久磁石の空隙長の変更により，軸方向と半径方向の浮上を両立させる．

要約(英語): The turbo molecular pump which has the one-axis active magnetic bearing using single side electromagnetic drive has been proposed. In this paper, we research the stable axial and radial levitation of rotor in a state of horizontal setting by adjusting compensator of electromagnet and by modifying air gaps of permanent magnets for industrial application.

原稿種別: 日本語

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