地震発生時における複数の観測地点を用いた空圧式除振装置の制御切替え方法に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT15040

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2015/03/27

タイトル(英語): Study of Switching Control for Air Type Anti-Vibration Apparatus with Some Observation Points under the Condition Where Earthquake Occurs

著者名: 峰尾 浩一(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学)

著者名(英語): Hirokazu Mineo(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 空圧式除振装置|制御切替え|トレードオフ|Air type anti-vibration apparatus|Switching control|Trade-off

要約(日本語): 半導体露光装置に実装される空圧式除振装置は，地震発生時に装置を着座することで地震動から保護されている．本論文の目的は，同装置の遠方と近傍に設置した三つずつの地震動観測地点を用いて，除振装置の制御を低高周波地震向けにそれぞれ切替え，地震動をやり過ごすことである．この提案方法によって，従来方法よりも半導体露光装置の通常稼働時間が確保できることを示す．

要約(英語): An air type anti-vibration apparatus (AVA) is stopped to guarantee safety when an earthquake occurs. We propose to change control by using three observation points where analyze and detect an earthquake. This proposal saves time such that a semiconductor exposure apparatus works normally longer than prior research.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,682 Kバイト