むだ時間を考慮した空圧式除振装置に対する圧力制御系の帯域拡大

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT15041

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2015/03/27

タイトル(英語): Expansion of Control Bandwidth for Pneumatic Anti-Vibration Apparatuses Considering Dead Time

著者名: 中村 幸紀(東京農工大学),川上 宙輝(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Hiroki Kawakami(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 空圧式除振装置|相対位置１階微分正帰還|むだ時間|Pneumatic anti-vibration apparatuse|Relative displacement derivative positive feedback|Dead time

要約(日本語): 半導体露光装置に搭載された空圧式除振装置には，空気ばねの内圧管理のため圧力制御が施される．その際，空気ばね剛性による反共振・共振特性が原因で制御帯域は制限されるため，相対位置１階微分正帰還が提案された．しかし，バルブが空気ばねから離れた箇所に設置されるため，圧縮空気の供給時にむだ時間が発生し，同正帰還を用いた制御系は非因果的となる．そこで本発表ではむだ時間を考慮した圧力制御系の帯域拡大を検討する．

要約(英語): This paper considers the bandwidth expansion of pressure control system for the anti-vibration apparatus with time delay. By using both Smith prediction and relative displacement positive feedback, anti-resonance and resonance can be suppressed under the presence of the time delay. The effectiveness of the proposed approach is shown by experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,031 Kバイト