二自由度空圧式除振台に対する圧力モード制御の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT15078

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2015/06/27

タイトル(英語): Study on Pressure Mode Control of a Pneumatic Isolation Table with Two Degrees-of-Freedom

著者名: 青木 ゆうい(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yui Aoki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 二自由度空圧式除振台|モード制御|圧力管理|pneumatic isolation table with two degrees-of-freedom|mode control|pressure control

要約(日本語): 多軸の空圧式除振台では，除振台の位置や加速度と異なり，圧力の管理には各空気ばねに局所フィードバックが施された独立制御を用いている．それに対して，本発表ではモード制御による圧力管理を検討する．モード制御により調整の自由度が高くなることを，時間応答と周波数応答に基づき確認する．

要約(英語): This paper considers the vibration control of a pneumatic isolation table with two degrees-of-freedom. In the proposed method, mode control is used for the pressure management of air springs. The performance of the mode control is evaluated by simulation and experiment.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,601 Kバイト