圧力モード制御を用いた二自由度空圧式除振台に対するパラメータ調整とその解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT15150

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2015/10/31

タイトル(英語): Parameter Adjustment and Its Analysis for a Pneumatic Isolation Table with Two Degrees-of-Freedom Using Pressure Mode Control

著者名: 青木 ゆうい(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yui Aoki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 圧力モード制御|空圧式除振台|遅れ時間|pressure mode control|pneumatic isolation table|time delay

要約(日本語): 半導体露光装置には床震動の伝達を抑えるため空圧式除振台が搭載されている．以前著者らは，空気ばねの内圧を回転・並進方向成分に分解した圧力モード制御を提案し，その有効性をシミュレーションと実験により示した．本発表では，同制御法により除振台の各運動が非干渉化されることを解析的に示す．

要約(英語): This paper considers the pressure mode control system for a pneumatic isolation table. By using this method, the pressure in air springs is decomposed into rotation and translation elements, resulting in the improvement of parameter adjustment. It is analytically shown that the control system with pressure mode control is decoupled.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,307 Kバイト