DI値メータの改良と空圧式除振装置への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT15157

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2015/12/19

タイトル(英語): Improvement of DI Value Meter and Its Application to an Air Type Anti-Vibration Apparatus

著者名: 上田 廣太郎(東京農工大学),久保田 将行(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学)

著者名(英語): Kotaro Ueda(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masayuki Kubota(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: ＤＩ値|ＳＩ値|除振装置|速度センサ|地震|Destructive Intensity Value|Spectral Intensity Value|Anti-Vibration Apparatus|Velocity Sensor|Earthquake

要約(日本語): 半導体露光装置に用いられる空圧式除振装置に対して，地震発生時に運転を継続することを目標として，除振装置の制御切り替えを行う．先行研究で用いたSI値の代わりに，本研究では計算負荷とリアルタイム性に優れたDI値を用いる．本稿では，DI値メータの改良，およびSI値の代わりにDI値を除振装置に適用した制御切り替え結果について報告する．

要約(英語): When earthquake occur, movable portion of anti-vibration apparatus collide. By controlling anti-vibration apparatus, both damage and collision could be improved without stopping system. Previous research uses SI value, however this paper uses DI value to reduce calculation load and time. In this paper, the DI value meter is improved about small earthquakes and used for measurement.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,320 Kバイト