金属フタロシアニンを用いたSAWセンサの気体選択性に対する一検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS9-6

グループ名: 【C】平成27年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2015/08/27

タイトル(英語): A study on gas selectivity of the SAW sensor using metal phthalocyanine

著者名: 杉山 克俊(日本大学),佐伯 勝敏(日本大学),齊藤 稔(日本大学),関根 好文(日本大学)

著者名(英語): Katsutoshi Sugiyama(Nihon University),Katsutoshi Saeki(Nihon University),Minoru Saitou(Nihon University),Yoshifumi Sekine(Nihon University)

キーワード: 金属フタロシアニン|SAWセンサ|二酸化窒素|二酸化硫黄|ホルムアルデヒド選択性|Metal phthalocyanine|SAW sensor|Nitrogen dioxide|Sulphur dioxide|FormaldehydeSelectivity

要約(日本語): 室内では一年を通して様々な気体が発生している．夏場では温度上昇により家具の接着剤や壁の塗料から，揮発性有機化合物の１種であるホルムアルデヒドが発生し，冬場では開放型ストーブの使用により二酸化窒素や二酸化硫黄の気体が発生している．これらの気体は低濃度でも長時間吸い続けることによって人体に悪影響があることが報告されており，気体の選択性を有しながら常時検知を行えるセンサを用いて適切な換気を行う必要がある．
本稿では，中心金属が，銅，鉄及び亜鉛の3種類の金属フタロシアニンを感応膜として用いSAWセンサを構築した．その結果，3種類の金属フタロシアニンを蒸着した3つのセンサを用いることで，一年を通して発生する気体の二酸化窒素，二酸化硫黄およびホルムアルデヒドの気体の判別を可能に出来ることを明らかにしている．

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