酸化亜鉛ナノ結晶成長に寄与するレーザ生成ナノ微粒子のレーザ散乱画像計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: OS1-4

グループ名: 【C】平成27年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2015/08/27

タイトル(英語): Time-resolved imaging of ZnO nanoparticles formed in the high-pressure phase during growth of ZnO nanocrystals

著者名: 中村 大輔(九州大学),高尾 修平(九州大学),下垣 哲也(九州大学),東畠三洋 (九州大学),岡田 龍雄(九州大学)

著者名(英語): Dasiuke Nakamura(Kyushu University),Shuhei Takao(Kyushu University),Tetsuya Shimogaki(Kyushu University),Mitsuhiro Higashihata(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)

キーワード: ナノ微粒子|酸化亜鉛|レーザ散乱|ナノ結晶|nanoparticle|ZnO|laser scattering|nanocrystal

要約(日本語): 近年，ワイドギャップ半導体である酸化亜鉛（ZnO）ナノ結晶をビルディングブロックとした機能性デバイス応用に関する研究が国内外で盛んに行われている．我々はレーザプロセスを利用したZnOナノ結晶作製技術を確立しており，これまでにナノワイヤ，ナノウォールなど様々な形状のZnOナノ結晶の作製に成功し，レーザ素子やフィールドエミッタなどの応用を実現している．本手法では20kPa程度のガス雰囲気にて生成されるZnOナノ微粒子がZnOナノ結晶の成長に大きく寄与している．ナノ微粒子挙動を明らかにすることで本手法におけるナノ結晶成長の制御性をさらに高めることが期待できる．そこで，本研究ではレーザ散乱画像計測を用いてナノ微粒子の挙動解析を行なった．ナノ微粒子生成用レーザとプローブレーザのディレイを制御することでナノ微粒子挙動の時間分解計測に成功した．

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