多重ループ型制御系における空圧式除振装置の流量外乱抑制

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS8-3

グループ名: 【C】平成28年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2016/08/31

タイトル(英語): Flow Disturbance Suppression of Pneumatic Anti-Vibration Apparatuses under Multi-Loop Control System

著者名: 中村 幸紀(岡山大学),野口 裕喜(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),平田 健太郎(岡山大学)

著者名(英語): Yukinori Nakamura|Yuki Noguchi|Shinji Wakui|Kentaro Hirata

キーワード: 空圧式除振装置|流量外乱|除振率除振率|Pneumatic Anti-Vibration Apparatus|Flow Disturbance|Transmissibility

要約(日本語): 半導体露光装置には床震動の伝達を抑制するため空圧式除振装置が搭載されている．同除振装置には空気ばねを有しており，コンプレッサから生成される圧縮空気を吸排することで，除振台を平衡位置に保つことができる．しかし，圧縮空気の生成過程において空気圧が変動し，それにより除振台が搖動する．この圧力変動を流量外乱と呼ぶ．そこで，本発表では空圧式除振台に対する流量外乱抑制を検討する．ここでは同外乱が周期性を有していることに着目し，周期外乱除去に有効な繰返し制御を用いる．同制御器には任意に設定可能なパラメータとしてフィードフォワード項(FF項)が含んでおり，これまで位置フィードバックのみが施された単一ループ型の制御系においては，FF項としてノッチフィルタが有効であることを示した．一方，位置・加速度・圧力フィードバック等を有する多重ループ型制御系では除振率が悪化することを指摘し，その対策について述べる．

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