粒子群最適化を用いたリニアステージの制御器設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT17007

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2017/03/19

タイトル(英語): Controller Design of a Linear Stage Using Particle Swarm Optimization

著者名: 田中 椋也(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Ryoya Tanaka(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 粒子群最適化|フィードフォワード制御|評価関数|particle swarm optimization|feedforward control|objective function

要約(日本語): 本論文では，PSOおよびQPSOを用いて，リニアステージのパラメータ同定を行った．また，評価関数および粒子群初期配置の検討も行った．今回，リニアステージの制御手法として，フィードフォワード制御を用いた．これは，制御対象であるステージの逆システムを必要とする．そのため，これを同定するためにPSOおよびQPSOを用いた．これらのアルゴリズムの同定にかかる速度と精度を比較した．また，評価関数と初期配置の検討を行った．

要約(英語): In this paper we identified the linear stage parameters using PSO and QPSO. Also applied objective functions and initial assignment were evaluated. The linear stage was installed in a semiconductor exposure apparatus as positioning device. The feedforward control system is adopted to its stage. This requires the parameters of the inverse system of the stage. For that reason, we identified the parameters using PSO and QPSO. These algorithms were evaluated from the viewpoint of speed and precision. Furthermore objective functions and initial assignment also evaluated through the influence of the identification result.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,142 Kバイト