空圧式除振装置の制御切り替えによるハンチングの対策

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT17009

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2017/03/19

タイトル(英語): Countermeasure for Transient Response of Switching Control on Air Type Anti-Vibration Apparatus

著者名: 上田 廣太郎(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Kotaro Ueda(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 除振装置|制御切り替え|過渡応答|ハンチング|床振動フィードフォワード|ＤＩ値|Anti-Vibration Apparatus|Switching Control|Transient Response|Hunting|Floor-Vibration Feedforward|Destructive Intensity Value

要約(日本語): 半導体露光装置に用いる空圧式除振装置の地震対策として，制御切り替えがある．除振装置の制御の一つである，床振動フィードフォワードに適用すると過渡現象が発生することが先行研究のシミュレーションで報告され，筆者らの実機実験でも確認した．過渡現象の加速度は地震動よりも大きく，むしろ半導体露光装置に悪影響を与える．本稿では，過渡現象の発生条件の追及と対策を行い，シミュレーションによりその有効性を検証する．

要約(英語): The switching control of air type anti-vibration apparatus is effective as countermeasure for earthquake. However, the previous research shows that the switching control causes transient response. We found that the response is related to the acceleration of earthquake at the switching time. Moreover, the countermeasure for the response is shown by simulation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,713 Kバイト