空圧ステージに対する圧力FBとモデル追従制御の適用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT17074

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2017/08/26

タイトル(英語): Application of Model Following Control and Pressure Feedback for Pneumatic Stage

著者名: 石井 浩貴(東京農工大学),武井 陸(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Hiroki Ishii(Tokyo University of Agriculture and Technology),Riku Takei(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 空圧ステージ|モデル追従制御|圧力フィードバック|位置決め|Pneumatic stage|Model Following Control|Pressure Feedback|Positioning

要約(日本語): 空圧アクチュエータは圧縮空気により駆動する．そのため電磁アクチュエータと違って熱や磁気を発生しない．そこで電子ビーム露光装置内の位置決めステージとしての活用が期待される．しかし空気の圧縮性は低い再現性と緩慢な応答をもたらす．本稿ではモデル追従制御と圧力フィードバックの適用を提案する．モデル追従制御の適用により位置決めのばらつき抑制をしつつ，圧力フィードバックによる応答の高速化を図る．

要約(英語): A pneumatic actuator works by compressed air. For that reason, it does not give off heat and magnetic field unlike an electromagnetic actuator. Therefore, a pneumatic stage is expected as positioning control in an electron beam lithography exposure. However, compressibility of air brings low repeatability and slowly response. This paper proposes to apply model following control and pressure feedback. By applying pressure feedback, response of pneumatic system is quicker in addition to restraining dispersion of positioning by applying model following control.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 799 Kバイト