クリーンルーム整備から、集積回路の一貫教育構築まで

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC22-4

グループ名: 【C】平成29年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/06

タイトル(英語): From makeing the cleanroom to basic consecutive system consisted of a fundamental integrated circuit education system

著者名: 田中 武(広島工業大学),豊田 宏(広島工業大学),山内 将行(広島工業大学),升井 義博(広島工業大学)

著者名(英語): Takeshi Tanaka|Hiroshi Toyota|Masayuki Yamauchi|Yoshihiro Masui

キーワード: クリーンルーム|集積回路|レイアウト設計|半導体プロセス|電気的特性評価|clean room|integrated circuits|layout design|semiconductor process|estimation of electrical characteristec

要約(日本語): 近年，集積回路技術のめざましい進歩により，集積回路は，高速化，高性能化および高集積化される中で，大学におけるLSI教育の重要性が指摘されている。本学においても，平成10年度日本私立学校・振興共済事業団の「特色のある教育研究の推進」に採択され，集積回路関連設計・プロセス工学教育システムの開発を行ってきた。また，平成17年には，半導体プロセス技術の発展に伴い，システム設計，回路設計，デバイス設計，半導体プロセス工学までを総合した知識・技術が必要になりpMOSFETを用いて簡単なICチップの学生の手による作成を北九州学術研究都市にある共同研究開発センターに出向いて行った。システムLSI開発の全般を見渡せる技術者・学生を養成する為，自分で回路設計したデータを基に， CMOSプロセスで学生自らが設計し，自らがICを作成する事も含めた，集積回路の設計，試作及び評価までの一貫した教育システムの構築したので報告する。

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