自動周波数推定PIS制御を用いた空圧式除振装置 の外乱抑制

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT18113

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2018/09/21

タイトル(英語): Disturbance suppression of pneumatic anti-vibration apparatuses using automatic frequency estimation PIS control

著者名: 来栖 悠太(東京農工大学),髙木 山河(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yuta Kurusu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Sanga Takagi(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 空圧式除振装置|ＰＩＳ制御|Ｓ補償器|自動周波数推定|Ｓｃｈｍｉｔｔ　ｔｒｉｇｇｅｒ| pneumatic anti-vibration apparatus|PIS compensator|S compensator|automatic frequency estimation|Schmitt trigger

要約(日本語): 半導体露光装置の振動抑制には空圧式除振装置が用いられる．同除振装置は，コンプレッサから給排される圧縮空気の流量を制御することで台座を定位させる．しかし，圧縮空気の圧力は周期的な変動を伴う．これが流量の変動，すなわち流量外乱をもたらすため，台座の変位に振動を生じる．このような外乱の補償法として，PIS制御が用いられる．ここでは，S補償器に入力する周波数を自動で推定できるPIS制御の手法について検討した．

要約(英語): This paper shows PIS control method which can automatically estimate frequency using Schmitt trigger through actual experiment. In the conventional method, it is necessary to input the frequency of the disturbance. In this method, it is possible to suppress the vibration of the anti-vibration able due to the flow disturbance.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 587 Kバイト