ニューラルネットワークを用いた周波数逐次推定のPIS制御への適用

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-1

グループ名: 【C】平成30年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2018/09/05

タイトル(英語): Application of Frequency Sequential Estimation to PIS Control Using Neural Network

著者名: 田中 椋也(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Ryoya Tanaka|Shinji Wakui

キーワード: 空圧式除振装置|PIS 制御|周波数推定|ニューラルネットワーク|Pneumatic anti-vibration apparatus|PIS control|Frequency estimation|Neural network

要約(日本語): 半導体露光装置では，サブナノオーダの位置決めが要求される。歩行による微小な振動でさえ位置決めに悪影響を与える。そのため，空圧式除振装置が必須となっている。同装置は露光装置を載せた台座を空気ばねで支持し，空気の給排気により床からの振動を遮断する。しかし，駆動に用いる圧縮空気はコンプレッサで生成される。これは圧縮時に空気圧を高め，上限値に達すると停止する。その後，空気圧は低下し下限に達すると再度圧縮する。これを繰返すため，周期的な圧力変動を生じる。その結果，これに同期した振動が台座にもたらされる(外乱)。そこで，周期的な外乱の抑制のため，PIS制御を導入した。ただし，適用には外乱の周期が既知でなければならない。周波数変動を伴う場合には外乱の周波数推定が必要になる。その実装方法として，ニューラルネットワークを用いる手法を提案する。同手法が台座の振動抑制に有効であることを示した。

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