有機薄膜形成素過程の in-situ 観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC18-2

グループ名: 【C】平成30年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2018/09/05

タイトル(英語): In-situ Observations of Elementary Processes in the Formation of Organic Thin Films

著者名: 久保野 敦史(静岡大学)

著者名(英語): Atsushi Kubono()

キーワード: 有機薄膜|その場|薄膜成長|素過程|水晶振動子マイクロバランス|organic thin film|in situ|thin film growth|elementary process|quartz crystal microbalance

要約(日本語): 蒸発，吸着，核形成，核成長などの様々な有機薄膜成長素過程について，X線回折，赤外吸収，水晶振動子マイクロバランスやピラニー真空系などの既存技術を応用・改良して得られたデータに適切な成長モデルを適用することで，各素過程の様式ならびに各素過程を特徴付けるパラメータを求める手法について概説する。

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