蒸着重合法によるポリイミド薄膜形成と配向制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC18-3

グループ名: 【C】平成30年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2018/09/05

タイトル(英語): Vapor-Deposition Polymerization and Orientation Control of Polyimide Thin Films

著者名: 山嵜 貴俊(東京農工大学),田中 邦明(東京農工大学),臼井 博明(東京農工大学)

著者名(英語): Takatoshi Yamazaki|Kuniaki Tanaka|Hiroaki Usui

キーワード: 蒸着重合|ポリイミド|配向制御|光異性化|自己組織化膜|deposition-polymerization|polyimide|orientation control|photoisomerization|self-assembled monolayer

要約(日本語): アゾベンゼンを含むポリイミド薄膜を蒸着重合によって形成した。蒸着後にUV光を照射し，光異性化によって基板面内報告の分子配向制御を試みた。さらに，基板表面に自己組織化膜を形成し，これによる配向制御の可能性についても検討した。

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