CPGとPI補償器単体での外乱抑制効果の比較

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT19018

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2019/01/05

タイトル(英語): Comparison of disturbance suppression effect in only CPG and only PI compensator

著者名: 齊藤 萩朔(東京農工大学),柏崎 翔(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Shusaku Saito(Tokyo University of Agriculture and Technology),Sho Kashiwazaki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 振動制御|記述関数|流量外乱|ＣＰＧ|vibration control|describing function| flow disturbance|central pattern generator

要約(日本語): 半導体露光装置には，振動を防ぐため空圧式除振装置（AVA）が用いられる．AVAには圧縮空気の圧力変動によって生じる流量外乱を抑制するためCPGを実装した．先行研究によって，CPGはPI補償器と閉ループ内に付加的に接続することで外乱抑制効果の有効性を確認した．本稿では，CPGにおけるPID補償に相当する制御手法を導入し， PI補償器を用いることなくCPG単体での抑制効果の比較を行う．

要約(英語): For semiconductor exposure apparatus, pneumatic Anti Vibration Apparatus is used to prevent vibration. In addition to PI compensator, CPG is installed as a compensation method for suppressing flow disturbance caused by pressure fluctuation of compressed air. In this paper, we verify the suppression effect of only CPG without only PI compensator.

原稿種別: 日本語

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