空圧ステージにおける機械系モデルを内含するモデル追従制御の優位性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT19052

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2019/03/02

タイトル(英語): Superiority of Model Following Control Including Mechanical System for Pneumatic Stage

著者名: 石井 浩貴(東京農工大学),鈴木 達也(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Hiroki Ishii(Tokyo University of Agriculture and Technology),Tatuya Suzuki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 空圧ステージ|空圧シリンダ|モデル追従制御|位置決め|非線形性|Pneumatic stage|Air cylinder|Model following control|Positioning|Nonlinearity

要約(日本語): 空圧ステージには非線形性が存在し，再現性低下の原因となっている．この補償方法として，モデル追従制御（以下，MFC）が挙げられる．同ステージの空圧系のみを対象とするMFC（以下，断片的なMFC）と，機械系も対象としたMFC（以下，包括的なMFC）が提案され，それぞれ再現性向上が確認されている．ただし，これらのMFC の比較はなされていない．そこで，断片的なMFC と包括的なMFC を比較し，後者の優位性を明らかにする．

要約(英語): A pneumatic stage has nonlinearities cause low positioning repeatability. As a one of method of improving repeatability, model following control (MFC) is proposed. There are two types of MFC. In this paper, repeatability at repeated positioning when applying two kinds of MFC is evaluated, and the superiority of the latter is shown.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,656 Kバイト