差分進化を用いた位置決めステージの摩擦同定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT19059

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2019/03/02

タイトル(英語): Friction Identification of a Positioning Stage Using Differential Evolution

著者名: 中村 幸紀(岡山大学),北山 大樹(岡山大学),平田 健太郎(岡山大学),岡野 訓尚(岡山大学)

著者名(英語): Yukinori Nakamura(Okayama University),Hiroki Kitayama(Okayama University),Kentaro Hirata(Okayama University),Kunihisa Okano(Okayama University)

キーワード: 差分進化|位置決めステージ|Differential Evolution|Positioning Stage

要約(日本語): ステージとガイド間に生じる摩擦は，ステージの位置決め精度を低下させる要因となる．摩擦を補償するには，そのパラメータを同定する必要があるが，摩擦は非線形性を有しており，同定が困難である．一方，非線形最適化手法として差分進化が知られており，様々な分野への適用例が報告されている．そこで本発表では差分進化を用いたステージの摩擦同定について検討する．

要約(英語): In this paper, we consider the friction identification of a positioning stage. To identify the friction, we use differential evolution, which is one of nonlinear optimization methods. The effectiveness of this method is verified by simulation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 454 Kバイト