レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS14-3

グループ名: 【C】2019年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2019/08/28

タイトル(英語): ScAlN thin film stack for piezoelectric transformer in rectifying antenna

著者名: 木下 紗里那(早稲田大学／各務記念材料技術研究所),柳谷 隆彦(早稲田大学／各務記念材料技術研究所／JSTさきがけ)

著者名(英語): Sarina Kinoshita|Takahiko Yanagitani

キーワード: レクテナ|圧電トランス|ScAlN|エネルギーハーべスティング|rectifying antenna|piezoelectric transformer|ScAlN|energy harvesting

要約(日本語): 社会に無数のセンサを散りばめ，ビッグデータを取得し解析するトリリオンセンサ時代が数十年後に訪れるといわれている。このような社会を実現するためには，個々のセンサが周囲環境からエネルギーを得て発電する技術が求められる。電波によるエネルギーハーベスティングはレクテナという整流回路とアンテナから構成される素子を用いて行われている。周囲環境に存在する電波は微弱なため，レクテナ内のダイオードを駆動させることはできずレクテナを高効率で動作させることが難しい。そこで，微弱電波を昇圧し高効率レクテナを実現できる圧電薄膜共振子と圧電トランスの動作を組み合わせた新しい圧電トランス薄膜共振子の検討を行う。本報告では，c軸ジグザグ配向ScAlN多層膜の成長，新構造圧電トランスの作製を試み，12倍の解放電圧の昇圧を確認した。

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