ミニマルファブによるダイヤモンドSAWデバイス作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: PS6-8

グループ名: 【C】2019年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2019/08/28

タイトル(英語): Diamond SAW devices fabricated by Minimal-Fab

著者名: 仲宗根 綾乃(沖縄工業高等専門学校),辻野 拓音(沖縄工業高等専門学校),藤井 知(沖縄工業高等専門学校),遠江 栄希(横河ソリューションサービス),柴 育成(横河ソリューションサービス),クアンプアン ソマワン(産業技術総合研究所),原 史郎(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Ayano Nakasone|Takuto Tsujino|Satoshi Fujii|Haruki Toonoe|Yasunori Shiba|Sommawan Khumpuang|Siro Hara

キーワード: SAWデバイス|ミニマルファブ|ダイヤモンドダイヤモンド|SAW device|Minimal fab tool|Diamond

要約(日本語): すべてのものがインターネットに接続されるIoTを踏まえた第5世代移動体通信システムでは，現状の1000倍を超える通信トラフィックの爆発的な増大の需要が見込まれていることから，キャリア周波数はミリ波帯の電波領域までの利用がされようとしている。そこで，3GHzを超えるSAWフィルタの実用化を目指しおり，我々は単結晶ダイヤモンドを用いたSAWデバイスの実用化を目指している。その手段として産総研・原らにより提案されているミニマルファブのプロセスによるダイヤモンドSAWデバイスの試作について検討している。本学会にてその現状について報告する。

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