紫外レーザーによる超撥水性シリコーンの作製と水中での機能化

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC5-6

グループ名: 【C】2019年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2019/08/28

タイトル(英語): Fabrication of superhydrophobic silicone rubber operating in water by ultraviolet laser

著者名: 大越 昌幸(防衛大学校)

著者名(英語): Masayuki Okoshi()

キーワード: シリコーン|超撥水性|ArFエキシマレーザー|微細隆起構造|空気層|Silicone|Superhydrophobic property|ArF excimer laser|Microswelling structure|Air gap

要約(日本語): 本研究では，ArFエキシマレーザー（波長193 nm）によりシリコーンゴム表面に周期的な微細隆起構造を形成し，その後真空蒸着によりAl薄膜を形成することによって，水との接触角が約165度となる超撥水性の発現を見出した。これは，試料表面にAl薄膜を形成すると，Al薄膜は平坦にはならず，微細なテクスチャ構造を呈することに依る。このAl薄膜の微細なテクスチャ構造は，平坦なシリコーンゴム上でも形成されたが，スライドガラスやシリコーン樹脂上では形成しないことを示す。また，水や他の溶液中で作動するマイクロデバイスへの応用のため，超撥水性シリコーンゴムを水中に入れると，レーザー照射領域にのみ空気層が形成することがわかった。その結果，水中またはNaCl水溶液中で，シリコーンゴム表面上に3?15 Vの電圧が印加できることを実証した。

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