空間光制御を用いたフェムト秒レーザー加工

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-3

グループ名: 【C】2019年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2019/08/28

タイトル(英語): Femtosecond laser processing using spatial light modulation

著者名: 長谷川 智士(宇都宮大学)

著者名(英語): Satoshi Hasegawa()

キーワード: フェムト秒レーザー加工|空間光変調素子|計算機ホログラム計算機ホログラム|Femtosecond laser processing|Spatial light modulator|Computer-generated hologram

要約(日本語): フェムト秒レーザーは，材料の熱拡散速度に比べてパルス幅が十分に短いため，熱影響を低減した高品質な加工を実現する。また，高いパルスピーク強度により実現される多光子吸収を介した物質励起と，透過性の高い近赤外の波長により，透明材料内部への回折限界以下の加工を可能にする。これらフェムト秒レーザー特有の特徴を活かして，透明材料内部への回折光学素子の作製に関する報告がされている。上記の応用では，構造を短時間で大面積に加工することが求められる。我々は，高速・高効率なフェムト秒レーザー加工を実現するために，空間光変調素に表示された計算機ホログラムを用いたレーザー加工に関する研究を行っている。この技術は，任意の光強度パターンを有するレーザーを対象に照射することで，高いスループットと高い光利用効率を有するレーザー加工を実現する。本報告では，我々のこれまでの研究事例について紹介し，今後の展開を述べる。

PDFファイルサイズ: 2,513 Kバイト