フェムト秒レーザー誘起プラズモニック近接場によるナノ加工

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-6

グループ名: 【C】2019年電気学会電子・情報・システム部門大会プログラム

発行日: 2019/08/28

タイトル(英語): Laser material nanoprocessing with laser-induced plasmonic near fields

著者名: 宮地 悟代(東京農工大学)

著者名(英語): Godai Miyaji()

キーワード: フェムト秒レーザー加工|表面プラズモン|近接場近接場|femtosecond laser processing|surface plasmon|near field

要約(日本語): 回折限界によってレーザー加工の空間分解能は波長オーダーに制限される。著者は，高強度レーザー照射によって固体表面の誘電関数に変調を加え，表面プラズモン・ポラリトンを励起し，そのプラズモニック近接場によるアブレーションを通して，ナノ加工できることを示してきた。表面プラズモンの励起・緩和過程および，その理解によって加工形状をコントロールできる手法について紹介する。

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