空圧ステージに対する積分特性モデルを用いたモデル追従制御の実装

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT20050

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2020/03/27

タイトル(英語): An Implementation of Model Following Control using Integral Characteristics Model for a Pneumatic Stage

著者名: 石井 浩貴(東京農工大学),伊藤 慶(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Hiroki Ishii(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kei Ito(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 位置決め|空圧ステージ|モデル追従制御|非線形性|Positioning|Pneumatic stage|Model following control|Non-linearity

要約(日本語): 空圧ステージでは，PDD2補償器を用いた位置決め制御系が一般的である．同補償器は空圧系の積分特性に基づいている．空圧系は極零相殺をとおして1次遅れ特性から積分特性に整形される．ただし，精緻な極零相殺は困難となる．そこで，本研究は積分特性モデルを用いたモデル追従制御を提案した．同制御が不完全な極零相殺を補償できることを実験的に示した．

要約(英語): PDD2 compensator is popular for a pneumatic stage. This compensator is based on the integral characteristics of a pneumatic system. The pneumatic system is shaped from first-order lag characteristics to integral characteristics through pole-zero cancellation. However, precise pole-zero cancellation is difficult. This paper proposed model following control using integral characteristic model and showed compensation for incomplete pole-zero cancellation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,183 Kバイト