種々の電極材料の真空中絶縁耐圧と電極表面の汚損度合いの関係

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI11019

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2011/01/27

タイトル(英語): Relationship between Dielectric Breakdown Voltage in Vacuum and Contamination of Electrode Surfaces for Various Electrode Materials

著者名: 明石 圭祐(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),小林 信一(埼玉大学),齊藤 芳雄(高エネルギー加速器研究機構)

著者名(英語): Keisuke Akashi(Saitama university),Yasushi Yamano(Saitama university),Shinichi Kobayashi(Saitama university),Yoshio saito(High Energy Accelerator Research Organization)

キーワード: 真空|絶縁破壊|電極表面汚損|ステンレス鋼|Vacuum|Breakdown|Contamination of Electrode Surface|Stainless Steel

要約(日本語): 真空機器の性能・信頼性向上を図る上で、真空中の絶縁破壊の抑制が必要になる。これまでの研究から、真空中の絶縁耐圧と電極の表面の汚損の関係性が示唆されてきたが、定量的な検討は行われていない。本論文では、電極の金属材料、加工方法などを変えたときの真空中の絶縁耐圧と電極表面の汚損の関係の定量的な検討を行った。

原稿種別: 日本語

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