高位置分解能PEA測定装置の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI11067

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2011/11/25

タイトル(英語): Development of PEA Measurement system with High Positional Resolution

著者名: 鈴木 崇之(東京都市大学),大木 等(東京都市大学),三宅 弘晃(東京都市大学),田中 康寛(東京都市大学),高田 達雄(東京都市大学)

著者名(英語): Suzuki Takayuki(Tokyo City University),Ooki Hitoshi(Tokyo City University),Miyake Hiroaki(Tokyo City University),Tanaka Yasuhiro(Tokyo City University),Takada Tatuo(Tokyo City University)

キーワード: 空間電荷|パルス静電応力法|ＰＶＤＦセンサ|位置分解能| Space charge|PEA method|PVDF sensor|Positional resolution

要約(日本語): PEA装置の分解能は、試料に印加するパルス電圧の幅と、検出素子である圧電素子の厚さに依存しており、分解能を向上させるためには、パルス発生器を改良し、薄い圧電素子を使用する必要がある。昨年度までにパルス発生器を開発したに成功した。今回では薄い圧電素子を開発するために圧電素子（PVDF）を溶媒で溶かし,スピンコーターを用いて薄膜の圧電素子の開発を試みた。

要約(英語): PEA system depends on the pulse width of the applied pulse voltage and the sensor thickness. Therefore, we have made a thinner sensor film at first. By applying the newly developed them for the PEA system, we have a better positional resolution than that in ordinary system.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 907 Kバイト