マイクロギャップ放電における前駆現象

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI13015

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2013/01/28

タイトル(英語): Prebreakdown Phenomenon across Micrometer-scale Gap under Impulse Voltage

著者名: 森本 徹郎(東京大学),日高 邦彦(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学)

著者名(英語): Morimoto Tetsuro(The University of Tokyo),Hidaka Kunihiko(The University of Tokyo),Kumada Akiko(The University of Tokyo)

キーワード: マイクロギャップ|沿面放電|ストリーマ|前駆電流|有限要素法|電界放出|micro gap|surface discharge|streamer| leader current|FEM|field emission

要約(日本語): 近年の電子機器では集積回路の高密度化が進み続けている。こうした高密度集積回路では素子間を繋ぐ配線が非常に近接するため、これらの配線の絶縁を保つことが機能上重要であるが、微小ギャップにおける放電現象の機構解明は現在のところ十分ではない。そこで本研究では、微小ギャップにおける放電現象の機構を解明するために数種類のマイクロオーダーのギャップ電極にて行った放電の特性を紹介する。

要約(英語): The purpose of this research is to understand discharge phenomena across a micro-gap. The characteristics of current are surveyed and applied voltages at the time are measured. Besides, in order to evaluate the data, distributions of electric-fi_x000C_eld are calculated by usingFEM software.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,227 Kバイト