静電塗布法のリアルタイムモニタリング技術

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI13070

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2013/11/01

タイトル(英語): Real time monitoring method for electrospray deposition method

著者名: 福田 武司(埼玉大学),鈴木 勝己(埼玉大学),鈴木 あすみ(埼玉大学),Liao Yingjie(埼玉大学),鎌田 憲彦(埼玉大学)

著者名(英語): Takeshi Fukuda(Saitama University),Katsumi Suzuki(Saitama University),Asumi Suzuki(Saitama University),Liao Yingjie(Saitama University),Norihiko Kamata(Saitama University)

キーワード: 静電塗布法|有機デバイス|リアルタイムモニタリング

要約(日本語): 有機デバイスの成膜技術として期待されている静電塗布法であるが、その成膜メカニズムは未解明な部分が多い。そこで、成膜中にリアルタイムで成膜過程を評価することで原理解明を行なった内容を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 969 Kバイト