試料と下部電極の界面状態が空間電荷計測に及ぼす影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI13088

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2013/12/11

タイトル(英語): Influence of Contacting Condition between Film and Lower Electrode on Space Charge Measurement

著者名: 杉山 拓馬(豊橋技術科学大学),村上 義信(豊橋技術科学大学),川島 朋裕(豊橋技術科学大学),長尾 雅行(電気・電子情報工学系),西森 才将(日東電工),小竹 慎也(日東電工),福間 眞澄(松江工業高等専門学校)

著者名(英語): Takuma Sugiyama(Toyohashi University of Technology),Murakami Yoshinobu(Toyohashi University of Technology),Tomohiro Kawashima(Toyohashi University of Technology),Masayuki Nagao(Toyohashi University of Technology),Toshimasa Nishimori(Nitto Denko Corporation),Shinya Kotake(Nitto Denko Corporation),Masumi Fukuma(Matsue College of Technology)

キーワード: ポリエチレンテレフタレート|空間電荷|音響インピーダンス|ＰＥＡ法|Polyethylene terephthalate|Space Charge|Acoustic Impedance|PEA Method

要約(日本語): 空間電荷測定技術の一つであるPEA法では試料と電極間にシリコーン油が用いられるが、その影響で波形が変化するという問題がある。本研究ではPEA法に音響インピーダンス測定機能を組み込んだ測定システムを用いて、試料と電極の界面状態が測定に与える影響を調査した。試料と下部電極の密着性が悪い場合、見かけ上、空間電荷分布が変化する可能性があることが分かった。

要約(英語): To improve reliability on PEA method, the influence of contacting condition between sample and lower electrode on the space charge distribution was investigated using the measurement system equipped measurement function of the acoustic impedance. It is found that the space charge distribution may change by the different contacting condition between sample and lower electrode.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,464 Kバイト