誘電泳動集積法によるZnＯナノワイヤの集積とアセチレンガス検出への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED15001

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2015/01/29

タイトル(英語): Dielectrophoretic assemble of ZnO nanowires for gas sensor and its acetylene detection property

著者名: 川邊 祐貴(九州大学),李 栗(九州大学),林 大樹(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Yuki Kawabe(Kyushu University),Li Li(Kyushu University),Hiroki Hayashi(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: 酸化亜鉛ナノワイヤ|ガスセンサ|アセチレン|誘電泳動|白金ナノ粒子|zinc oxide nanowire|gas sensor|acetylene|dielectrophoresis|platinum nanoparticle

要約(日本語): 近年、ワイドギャップ半導体の一種である酸化亜鉛(ZnO)を用いたガスセンサに関する研究が国内外で進められており、そのアセチレンに対する検出性能の高さが報告されている。我々はZnOナノワイヤを誘電泳動力により電極間に集積させるセンサ作製法を新たに提案し、実際に作製したセンサを用いてアセチレンガスの検出に成功した。また、ZnO表面に触媒として白金ナノ粒子を修飾することで、さらなる感度の向上が確認された。

要約(英語): Recently, ZnO(zinc oxide) nano-structures have been extensively investigated for acetylene gas sensing device applications. In this paper, a new fabrication method of a acetylene gas sensor based on ZnO nanowires using dielectrophoresis is demonstrated. Upon exposure to acetylene gas, the conductance of the DEP-trapped ZnO nanowires increased.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,173 Kバイト