走査型トンネル顕微鏡による シリカ／エポキシ樹脂ナノコンポジット薄膜の表面観察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI15088

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2015/12/22

タイトル(英語): Surface Observation of Silica/Epoxy-Resin Nano-Composite Thin Film by Using Scanning Tunneling Microscopy

著者名: 橋本 修一郎(早稲田大学),小花 絃暉(早稲田大学),今津 研太(早稲田大学),武井 康平(早稲田大学),武良 光太郎(東芝三菱電機産業システム株式会社),吉満 哲夫(東芝三菱電機産業システム株式会社),渡邉 孝信(早稲田大学)

著者名(英語): Shuichiro Hashimoto(Waseda University),Genki Obana(Waseda University),Kenta Imazu(Waseda University),Kohei Takei(Waseda University),Kotaro Mura(Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation),Tetsuo Yoshimitsu(Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation),Takanobu Watanabe(Waseda University)

キーワード: ナノコンポジット|シリカ|表面観察|絶縁破壊|走査型トンネル顕微鏡|走査型電子顕微鏡|Nanocomposite|Silica|Surface Observation|Dielectric Breakdown|Scanning Tunneling Microscopy|Scanning Electron Microscopy

要約(日本語): シリカ／エポキシ樹脂コンポジット絶縁材料を半導体基板上に薄膜として堆積し、走査型トンネル顕微鏡でナノスケールの表面観察を実施した。粒径10-20nmの微細粒組織がトンネル電流像として観測され、同時に実施した走査型電子顕微鏡による断面観察と形状、サイズが一致した。このことは、半導体ナノ構造の評価技術がコンポジット材料の絶縁耐性評価へ転用可能であることを意味する。

要約(英語): We succeeded in nano-scale observation of silica/epoxy-resin composite films by scanning tunneling microscopy (STM). A granular texture with diameters of 10-20 nm appeared in the STM image, which coincides with the cross-sectional SEM images. The present method enables us to characterize the dielectric properties of composite films at nano-scale.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,224 Kバイト