蒸着技術を用いた誘電体／金属界面の付着強度向上の試み

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI16001

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2016/01/21

タイトル(英語): Improvement of adhesion strength between polymer and metal by means of deposition method

著者名: 河村 拓(東京農工大学),田中 邦明(東京農工大学),臼井 博明(東京農工大学)

著者名(英語): Taku Kawamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kuniaki Tanaka(Tokyo University of Agriculture and Technology),Hiroaki Usui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 付着強度|高分子金属界面|界面層|イオン化蒸着|蒸着重合|エポキシ|adhesion strength|metal/polymer interface|interfacial layer|ion-assisted deposition|deposition polymerization|epoxy

要約(日本語): 4-hydroxybutyl acrylate glycidyletherのイオン化蒸着により、側鎖末端にエポキシ基を持つ高分子薄膜を形成した。イオン加速及び電流の増大により膜の架橋が進み、平坦性と強度が増大した。ポリイミド及びPETフィルム表面にこの膜を形成することで、Cu蒸着膜の付着強度が改善された。

要約(英語): 4-hydroxybutyl acrylate glycidyether (4HBAGE) was deposited by ion-assisted vapor deposition to prepare polymer thin films having epoxy terminal on its sidechain. The ion irradiation induced crosslinking of the polymer, improving the mechanical stability. It was observed that this polymer thin film was effective to improve the adhesion strength of a polymer substrate and a Cu thin film.

原稿種別: 日本語

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