マイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊現象

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI17036

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2017/01/27

タイトル(英語): The Breakdown Phenomenon across Micrometer-scale Surface Gap

著者名: 中森 昌紀(東京大学),岩渕 大行(横浜国立大学),松岡 成居(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日高 邦彦(東京大学)

著者名(英語): Masaki Nakamori(University of Tokyo),Hiroyuki Iwabuchi(Yokohama National University),Shigeyasu Matsuoka(University of Tokyo),Akiko Kumada(University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(University of Tokyo)

キーワード: マイクロギャップ|パッシェンの法則|電界放出|沿面放電|Micrometer-scale gap|Paschen's law|Electric field emission|Surface discharge

要約(日本語): マイクロメーターオーダのギャップにおける絶縁破壊現象は、未解明な点が多く残されており、MEMSデバイスの微小化や、真空中の絶縁破壊現象に対しても知見を与えるものとして重要な研究テーマとなっている。MEMS デバイスを模擬したシリコンウェハ上のマイクロ沿面ギャップにおける実験を行い、放電進展機構を検討している。本研究においては、特に金属、絶縁材料からの電子放出機構に着目し実験を行った。

要約(英語): The breakdown phenomenon in the micrometer-scale gap has many unexplained points. It is an important research theme that gives insight on miniaturization of MEMS devices and dielectric breakdown phenomenon in vacuum. We’ve conducted experiments on micrometer-scale gaps on Si wafers simulating MEMS devices and investigate the discharge mechanism in micrometer-scale gaps. In this article, the electron emission process from electrode or insulating material is investigated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,650 Kバイト