パルス大電力ペニング放電の電気的特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI20035,EPP20013,HV20049

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料/【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 高電圧合同研究会

発行日: 2020/01/24

タイトル(英語): Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering Penning Dishcarge

著者名: 阿部 星輝(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),行村 建(岩手大学)

著者名(英語): Shoki Abe(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Ken Yukimura(Iwate University)

キーワード: ペニング放電|ホローカソード放電|ＨｉＰＩＭＳ|マグネトロンスパッタ|グロー放電|イオンシース|Penning Discharge |Hollow-Cathode Discharge |HiPIMS|Magnetron Sputtering |Glow Discharge|Ion Sheath

要約(日本語): HiPIMS用のイオン源としてコンパクトなペニングユニットを開発し、その電気的特性を調べた。ペニングユニットの磁場を外してホローカソード放電を起こした場合、電流やイオン密度は、１桁程度減少した。

要約(英語): Compact high-power magnetron sputtering penning discharge unit was developed as ion sources of droplet-free plasma process. The electric characteristics of the penning discharge was measured. The results showed that the discharge current and ion densities of the plasma are higher by one digit than those of hollow cathode discharge.

原稿種別: 日本語

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