スキャン型露光装置の高速高精度ステージの同期制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: S3-2

グループ名: 【D】平成13年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2001/08/22

タイトル(英語): Synchronization Control for High-Speed and High-Precision Stage of Scanning Stepper

著者名: 楊暁峰 (ニコン),真崎 和生(ニコン),鈴木 博之(ニコン),牧野内 進(ニコン)

著者名(英語): Yang,XiaoFeng|Masaki,Kazuo|Suzuki,Hiroeki|Makinouchi,Susumu

PDFファイルサイズ: 535 Kバイト