超精密ディスクパターンを実現するための長さ誤差測定原理の研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45689

グループ名: 【D】平成15年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/26

著者名: 小島隆臣 (多摩川精機),菊池良巳 (多摩川精機),関重夫 (多摩川精機),脇若弘之 (信州大学)

キーワード: 光学式エンコーダ|高精度ディスク|高精度長さ測定|描画装置

PDFファイルサイズ: 1,935 Kバイト