半導体ＳＥＭ式外観検査におけるパターン参照方式ＶＣ(Voltage Contrast)欠陥識別技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45692

グループ名: 【D】平成15年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/26

著者名: 福西宗憲 (日立製作所),広井高志 (日立製作所)

キーワード: 外観検査|ＳＥＭ|ＶＣ欠陥

PDFファイルサイズ: 1,509 Kバイト