リニアモータ駆動直列ツインスライダの位置決め制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45708

グループ名: 【D】平成15年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/26

著者名: 本田英己 (安川電機),萩原淳 (安川電機),小黒龍一 (九州工業大学),大川不二夫 (九州工業大学)

キーワード: 直列ツインスライダ|リニアモータ|機台振動|フィードフォワード制御

PDFファイルサイズ: 4,230 Kバイト