静止摩擦を考慮した超精密ステージによる位置制御法

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-83

グループ名: 【D】平成15年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/26

著者名: 大石卓也 (群馬大学),橋本誠司 (群馬大学),石川赴夫 (群馬大学),大石潔 (長岡科学技術大学),小坂光二 (熊本テクノロジー),久保田弘 (熊本大学),大見忠弘 (東北大学)

キーワード: 超精密ステージ|非共振型超音波モータ|制御帯域|bang-bang補償

PDFファイルサイズ: 965 Kバイト